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半導(dǎo)體制造與科研的隱形動力kashiyama樫山工業(yè)的選型指南與行業(yè)案例分析

更新時間：2025-12-25      瀏覽次數(shù)：100
在現(xiàn)代工業(yè)與科研領(lǐng)域，真空技術(shù)已成為推動創(chuàng)新的隱形引擎。從納米級半導(dǎo)體芯片的制造，到食品藥品的安全包裝，再到前沿科學(xué)的實驗室探索，真空系統(tǒng)的性能直接影響著工藝穩(wěn)定性、產(chǎn)品質(zhì)量與研發(fā)效率。作為擁有數(shù)十年真空技術(shù)積淀的，樫山工業(yè)（Kashiyama）憑借對不同應(yīng)用場景的深刻理解，構(gòu)建了覆蓋全領(lǐng)域的真空解決方案矩陣。本文將系統(tǒng)解析樫山真空產(chǎn)品的技術(shù)特性與應(yīng)用策略，助您精準(zhǔn)匹配真空方案。


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01
高科技制造領(lǐng)域：工藝導(dǎo)向的精準(zhǔn)真空方案
針對半導(dǎo)體、平板顯示（FPD）等高科技制造的工況（如腐蝕性氣體、微粒污染、高速排氣），樫山工業(yè)通過四大技術(shù)路徑提供定制化方案。
1.1 半導(dǎo)體制造：分階應(yīng)對多元工藝挑戰(zhàn)
高潔凈度工藝解決方案 （CVD/ALD等核心制程）
SD系列/SDE系列干式真空泵 ：
工藝適應(yīng)性 ：螺桿結(jié)構(gòu)+特殊涂層轉(zhuǎn)子，耐受Cl?、NF?等強(qiáng)腐蝕性氣體，減少維護(hù)停機(jī)時間。
寬域排氣能力 ：1,000~40,000 L/min，適配300mm晶圓至封裝產(chǎn)線。
低污染設(shè)計 ：無油運行，顆粒物排放控制在Class 1級別，確保芯片良率。
SD系列
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中等工藝與輕型工藝方案
MU系列/MU-PE/HE系列 （蝕刻工藝）：優(yōu)化氣路設(shè)計實現(xiàn)耐酸與節(jié)能，排氣速度5,000~30,000 L/min，匹配等離子蝕刻腔體需求。
MU-XE系列 （負(fù)載鎖定/PVD等輕型工藝）：緊湊設(shè)計節(jié)省30%安裝空間，排氣速度1,000~5,000 L/min，能耗降低25%，適用于空間受限產(chǎn)線。
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1.2 平板顯示（FPD）制造：溶劑排氣與大面積制程突破
SDL系列 （溶劑排氣專用）：
高速排氣 ：10,000~40,000 L/min，快速清除光刻膠揮發(fā)物，配合氣體冷卻系統(tǒng)防止溶劑冷凝堵塞管路。
行業(yè)驗證 ：三星、LG等面板 TFT-LCD/OLED蒸鍍工藝的標(biāo)準(zhǔn)配置。
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02
通用工業(yè)與科研領(lǐng)域：場景化高效真空解決方案
聚焦易用性、經(jīng)濟(jì)性與環(huán)境適應(yīng)性，提供空冷式與水封式兩大技術(shù)路線，覆蓋實驗室到生產(chǎn)線全場景。
2.1 空冷式干式真空泵：免維護(hù)時代的開啟
NeoDry系列 （擺脫冷卻水依賴）：
全生命周期成本優(yōu)化 ：
G系列（100~2,000 L/min） ：陶瓷涂層軸承，維護(hù)間隔延長至15,000小時。
E系列（2,000~5,000 L/min） ：變頻調(diào)速功能，平均節(jié)能35%。
低噪音運行 ：≤55dB（相當(dāng)于正常交談），適配理化分析、醫(yī)療檢測等噪音敏感場景。
多領(lǐng)域適配 ：高校實驗室質(zhì)譜分析、制藥凍干、電子元件封裝測試等跨行業(yè)通用。
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2.2 水封式真空泵：潮濕環(huán)境的可靠伙伴
LEH/LEM系列 （含水分排氣場景）：
汽水分離設(shè)計 ：處理含濕量高達(dá)20%的排氣，排氣速度100~30,000 L/min。
行業(yè)應(yīng)用 ：食品干燥、污水處理曝氣、木材防腐等；案例：日本麒麟啤酒生產(chǎn)線采用LEM-800，麥芽干燥時間從8小時縮短至5小時，能耗降低22%。

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03
選型指南：三步鎖定最佳真空方案
樫山提供科學(xué)選型方，精準(zhǔn)匹配需求：
：明確工藝特性
氣體類型（腐蝕性/惰性/含顆粒/含水汽）、真空度范圍（粗/高/超高真空）、排氣速度（L/min）。
第二步：環(huán)境約束評估,安裝空間、能源供應(yīng)（電力/冷卻水）、噪音與振動要求。
第三步：長期運營成本核算,初期投資（設(shè)備+安裝）、能耗、維護(hù)周期與成本。
案例參考 ：
半導(dǎo)體ALD工藝（三甲基鋁氣體+高潔凈度+2,000 L/min）→ 推薦SDX1200型號；
食品包裝真空封口（空氣介質(zhì)+1,000 L/min+無冷卻水）→ NeoDry G1000。


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